氦離子（PDHID）氣相色譜儀檢測(cè)高純氣體中的雜質(zhì)

2020-12-17 16:09:08來(lái)源：admin

工業(yè)發(fā)展推動(dòng)了氣體行業(yè)的飛速發(fā)展，對(duì)高純氣、超純氣、電子氣、特種氣體的需求也大大提升了，提升的不僅僅是用量，質(zhì)量要求也更加高。氣體提純工藝和檢測(cè)成為了各大氣體生產(chǎn)單位需要緊迫解決的問(wèn)題。對(duì)于氣體的檢測(cè)也隨著工業(yè)需求在逐步的向前推進(jìn)，氦離子化檢測(cè)器也越來(lái)越普遍地被應(yīng)用在高純氣、電子氣中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)。

目前國(guó)內(nèi)在高純氣體分析領(lǐng)域多數(shù)采用的熱導(dǎo)（TCD）檢測(cè)器由于靈敏度有限，很難測(cè)定5ppm以下的雜質(zhì)；氧化鋯檢測(cè)器由于是一種選擇性的檢測(cè)器，只能分析少數(shù)幾種氣體雜質(zhì)；而氬離子檢測(cè)器又往往帶有放射源。均不能很好的滿足高純氣體分析的基本要求。

氦離子氣相色譜儀適用于高純氣體和電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)，蕞小檢測(cè)濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測(cè)器，適用于高純氫、氧、氬、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)，一次性完成上述高純氣體中H2、O2（Ar）、N2、CH4、CO、CO2等常見(jiàn)雜質(zhì)或C1-C4等碳?xì)浠衔锏臋z測(cè)，檢測(cè)限達(dá)ppb級(jí)，重復(fù)性RSD≤1％。

一、適用標(biāo)準(zhǔn)：

GB/T3634.2《純氫、高純氫和超純氫》 GB/T 14599《純氧、高純氧和超純氧》

GB/T 8979《純氮、高純氮和超純氮》 GB/T 4842《氬》

GB/T 4844 《純氦、高純氦和超純氦》 GB/T 17873《純氖》

GB/T 5829《氪氣》 GB/T 5828《氙氣》

HG/T 3633《純甲烷》 GB 10621《食品添加劑液體二氧化碳》

GB/T 23938 《高純二氧化碳》 GB/T 28125.1《空分工藝中危險(xiǎn)物質(zhì)的測(cè)定》

雜質(zhì)種類： H2 O2 N2 CO CH4 CO2 C2H4 C2H6 C2H2 N2O 苯

檢測(cè)限（ppb）： 5 10 10 25 5 5 10 10 10 5 1

儀器系統(tǒng)配置：

GC-20氣相色譜儀主機(jī)

中心切割及反吹系統(tǒng)